1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种蒸镀机的坩埚遮板机构.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.04万字
  • 约 11页
  • 2023-07-12 发布于四川
  • 举报

一种蒸镀机的坩埚遮板机构.pdf

    为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上固定设有遮条，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板和遮条的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，气动阀门带动遮板旋转，坩埚遮板机构结构简单，自动化程度高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214168113 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202023145778.1 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 苏州佑伦真空设备科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >