一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法.pdfVIP

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2023-07-12 发布于四川
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一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法.pdf

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一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；置换气源的输出端连通至减压器的输入端；减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；过滤器组的输出端连通至总管的输入端，总管的输出端连通至真空泵的输入端。本发明根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110410662 A (43)申请公布日 2019.11.05 (21)申请号 20191