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气体泄漏检查装置及检查方法.pdfVIP

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  • 2023-07-12 发布于四川
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气体泄漏检查装置及检查方法.pdf

    本发明提供气体泄漏检查装置及检查方法。气体泄漏检查装置包括：腔室，容纳基板；气体供应单元，供应用于加工所述基板的气体；静电卡盘，所述基板在所述腔室内位于所述静电卡盘的上部，且所述静电卡盘与所述基板形成间隔并且形成有所述气体被供应的间隔空间；以及检测单元，至少识别所述气体相对于所述静电卡盘的泄漏位置。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116412972 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202210829926.6 (22)申请日 2022.07.14 (30)优先权数据 10-2021-0191126

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