裸晶测试系统及其测试方法.pdfVIP

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  • 2023-07-12 发布于四川
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本公开提供一种裸晶测试系统及其测试方法。裸晶测试系统包括用以提供测试命令的控制装置与测试装置。测试装置包括具有温度补偿电阻串与校准电阻串的待测裸晶,测试装置依据测试命令进行频率测试操作。频率测试操作包括:在第一温度下,依序调整温度补偿电阻串为多个温度补偿电阻值,并依序调整校准电阻串来对待测裸晶进行输出频率校准,以产生多个校准电阻值;对多个温度补偿电阻值与多个校准电阻值进行插值运算;依序在第二温度与第三温度下依据多个经插值温度补偿电阻值与多个经插值校准电阻值进行输出频率测试以产生多个输出频率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116413575 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202210938726.4 (22)申请日 2022.08.05 (30)优先权数据 110149476 2021.

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