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一种控制基板的处理的方法包括以下步骤：基于来自原位监测系统的信号，分别地产生指示在基板上的参考区域的物理性质的表征值的第一序列和指示在基板上的控制区域的物理性质的表征值的第二序列。分别地从表征值的第一序列和表征值的第二序列中确定参考区域速率和控制区域速率。通过对针对所述参考区域的表征值与针对所述控制区域的表征值进行比较来确定误差值。使用比例‑积分‑微分控制算法至少基于所述误差值和动态标称控制区域值来生成针对所述控制区域的输出参数值，并且所述动态标称控制区域值是至少基于所述参考区域速率和所述控制区
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109844923 A
(43)申请公布日
2019.06.04
(21)申请号 20178
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