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用于3D芯片的芯片模块、芯片组件和3D芯片.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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用于3D芯片的芯片模块、芯片组件和3D芯片.pdf

    本实用新型提供了一种用于3D芯片的芯片模块、芯片组件和3D芯片，其中，芯片模块包括：衬底层；金属层，所述金属层包括相对设置的第一表面和第二表面，所述金属层的所述第二表面设置在所述衬底层上；金属层穿孔组件，设置在所述金属层内，所述金属层穿孔组件包括：第一导体件、第二导体件和导体连接孔，所述第一导体件形成于所述金属层的第一表面，所述第二导体件形成于所述金属层的第二表面，所述导体连接孔形成于所述金属层内。该芯片模块降低了刻蚀的工艺难度，降低了占用金属层的面积，降低了电阻寄生参数和电容寄生参数，缩短了芯

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214176025 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120258342.9 (22)申请日 2021.01.29 (73)专利权人 西

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