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一种用于晶片成膜的数控车床夹具.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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一种用于晶片成膜的数控车床夹具.pdf

    本实用新型提供了一种用于晶片成膜的数控车床夹具，属于车床夹具技术领域。该用于晶片成膜的数控车床夹具包括调节机构和吸附机构。所述调节机构包括第一箱体、驱动组件、第一螺纹杆和第一滑动组件，所述驱动组件包括第一电机、第一圆锥齿轮和第二圆锥齿轮，所述第一滑动组件包括第一滑杆，所述第一电机连接于所述第一箱体内壁。本实用新型通过吸盘、第一电机、第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮、第一螺纹杆、第一滑杆、第二箱体、第二电机、第二螺纹杆、第二滑板、第一支架和密封板的作用，从而达到了便于夹持的目的，通过负压吸附固定晶片，保

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214162119 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120016189.9 (22)申请日 2021.01.05 (73)专利权人 天津维普泰克科技发展有限公司

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