1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约9.92千字
  • 约 11页
  • 2023-07-13 发布于四川
  • 举报

一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备.pdf

    本申请公开了一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备，属于微波传导技术领域，波导单元设置有通道，波导单元包括至少一个第一散热壁，该第一散热壁设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口与第一出水口通过第一流道连通，第一流道位于第一散热壁内。本实施例公开的波导单元直接将用于供冷却水通过的第一流道设置在波导单元的侧壁内，由第一进水口和第一出水口令第一流道内的冷却水与外界形成循环，冷却水流速稳定，冷却水与通道间隔距离小，冷却效果较佳，且冷却水沿第一流道流动，流动较为均匀，具有较强的流动指向性，使第一流道内

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214177873 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202023340298.0 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人 成都纽曼和瑞微波技术有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >