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- 2023-07-13 发布于四川
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本实用新型属于微电子功能器件技术领域，公开了一种用于选通器件Ti3C2‑MXene薄膜的制备装置，底座上固定有控制器、加热板、底电极基底、图像处理器、摄像器、超声处理器、溶液调配器和离心加热器；加热板上侧固定有底电极基底，底电极基底上方设置有摄像器，摄像器通过数据线与图像处理器连接；图像处理器通过数据线与控制器连接，控制器分别通过数据线与超声处理器和离心加热器连接。本实用新型可以实现对制作薄膜工艺的流程自动化，大大的提高了制作效率和质量；同时制备工艺简单、效率高、薄膜与衬底结合性好、易于在较低环
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214176063 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202120595791.2
(22)申请日 2021.03.23
(73)专利权人 湖北大学
地址 4
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