T_CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸.docxVIP

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2023-07-16 发布于河北
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ICS?29.045 CCS?H?80/84 团体标准 T/CASAS?025—2023 8?英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸 8-inch?silicon?carbide?wafer?reference?marking?and?dimensions 版本：版本：V01.00 2023-06-19?发布 2023-06-19?实施第三代半导体产业技术创新战略联盟发布 T/CASAS?025—2023 目次前言 ....................................................................................................................................................................? III 引言 ....................................................................................................................................................................? IV 1? 范围 ..................................................................................................................................................................? 1 2? 规范性引用文件 ..............................................................................................................................................? 1 3? 术语和定义 ......................................................................................................................................................? 1 4? 8? 英寸碳化硅基准标记说明? ............................................................................................................................? 1 5? 规定 ..................................................................................................................................................................? 1 切口相关参数 ...........................................................................................................................................? 1 碳化硅标记 ...............................................................................................................................................? 3 参考文献 ..............................................................................................................................................................? 4 I T/CASAS?025—2023 前言本文件按照?GB/T?1.1—2020《标准化工作导则第?1?部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构