扫描遂道及原子力.pptVIP

光栅三维STM图象 第二十九页，共四十七页，2022年，8月28日 　一、原理 　　 原子力显微镜(Atomic Force microscope，AFM)，是使用一端固定，另一端装有针尖的弹性微悬臂来检测样品表面形貌和其它表面性质的方法。 当针尖或样品扫描时，同距离有关的针尖与样品间的相互作用力就会引起微悬臂发生变形，用一束激光照射到微悬臂的背面，微悬臂将激光束反射到一个光电检测器。检测器不同相限接收到激光的强度差值同微悬臂的变形量会形成一定的比例关系。通过检测电压对样品扫描位置的变化，就可以得到样品表面的形貌。 §3-３、原子力显微分析 第三十页，共四十七页，2022年，8月28日 第三十一页，共四十七页，2022年，8月28日 微悬臂弹力的大小： 　　　　　　F=k·ΔZ K -弹性系数 ΔZ-位移 由于F很小，k和ΔZ都必须很小。需要制作k和M都很小的微悬臂 第三十二页，共四十七页，2022年，8月28日 　二、AFM结构 1.力检测部分 2.位置检测部分 3.反馈系统 第三十三页，共四十七页，2022年，8月28日 第一页，共四十七页，2022年，8月28日 透射电子显微镜（TEM，1931，Ruska） 场离子显微镜（FIM，1951，Muller） 扫描隧道显微镜（STM，1981，Binnig Rohrer） 1986年， Ruska，Binnig and Rohrer 分享诺贝尔物理奖 目前达到原子分辨的三种仪器： 第二页，共四十七页，2022年，8月28日 第三页，共四十七页，2022年，8月28日 高分辨显微仪器主要特点 仪器 分辨率 工作环境 工作温度 对样品 破坏程度 检测深度 SEM 横向：1nm 纵向：低 高真空/ 低真空 室温/低温/高温 小 1μm TEM 横向：0.1nm 纵向：无 高真空 室温/低温/高温 中 100nm FIM 横向：0.2nm 纵向：无 超高真空 30~80K 大 1个原子层 STM 横向：0.1nm 纵向：0.01nm 真空/大气/溶液 室温/低温/高温 无 1~2原子层 第四页，共四十七页，2022年，8月28日 第三章 扫描探针显微分析 扫描探针显微分析概述 扫描隧道显微分析 原子力显微分析 扫描探针显微分析的应用 第五页，共四十七页，2022年，8月28日 　 一、扫描探针显微镜定义 　　 扫描探针显微镜(Scanning probe microscopy, SPM)是用微探针在样品表面描，通过针尖与样品表面原子的物理化学作用以探测样品的显微镜。 SPM完全失去了传统显微镜的概念，其图像分辨率主要取决于探针尖端的曲率半径（通常在纳米范围）。 　 §3-1、扫描探针显微分析概述 第六页，共四十七页，2022年，8月28日 　二、扫描探针显微镜发展 　　 1981年，扫描隧道显微镜，第一种扫描探针显微镜第一次实时观察单个原子； 1986年，原子力显微镜，弥补了STM只能观察导电材料的不足； 1987，磁力显微镜、摩擦力显微镜 1988，静电力显微镜 1989，扫描电化学显微镜 1991，扫描此振力显微镜 1984~1992，扫描近场光学显微镜 第七页，共四十七页，2022年，8月28日 　三、扫描探针显微镜分类 　　 STM 扫描隧道显微镜 SFM 扫描力显微镜(AFM、EFM、MFM、CFM、LFM) NSOM 扫描近场光学显微镜 PSTM 光子扫描隧道显微镜 SCM 电容扫描显微镜 BEEM 弹道电子发射显微镜 SThM 扫描热显微镜 SVM 扫描电压显微镜 第八页，共四十七页，2022年，8月28日 　四、扫描探针显微分析的特点 　　 原子级高分辨率（横向0.1nm 纵向0.01nm） 可实时得到在实空间中表面的三维图像，用于材料表面结构研究 可观察单个原子层的局部表面结构 →如表面缺陷、表面重构、表面吸附等 可在真空、大气、液体、高温、低温等不同环境下工作，无特别制样技术，适合生物样品和在不同实验条件下对样品的表面评价 配合扫描隧道谱，可得到有关表面电子结构的信息 可对单个原子和分子进行操纵（STM） →对表面进行纳米级微加工 体积小、成本低 第九页，共四十七页，2022年，8月28日 　扫描探针显微分析的特点 局限性： 　　 只能观测表面，不能探测深层信息； 探针质量随机性大，测试结果在很大程度上依赖于操作者； 探针扫描范围小（~μm）难以对观察点