原创力文档- 2
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- 2023-07-14 发布于四川
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本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种两悬梁MEMS阵列式陶瓷悬梁微热板。包括单晶硅衬底、陶瓷悬梁层、加热层及其电极端、绝缘层、测试层及其电极端，陶瓷悬梁层，通过印刷、烘干、煅烧在所述单晶硅衬底上，陶瓷悬梁层中间印刷为阵列式I形支撑悬梁，I形支撑悬梁的中心交叉部形成功能区，阵列式的每个功能区用于制备加热层、绝缘层和测试层，后期再测试层上涂覆敏感材料，即可形成多个功能模块。本实用新型通过阵列式，实现混合气体的检测，并且采用具有更低导热系数和更坚硬的陶瓷材料作为MEMS微热板的悬梁结构，比传统的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214192568 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202022854811.1
(22)申请日 2020.12.02
(73)专利权人 苏州麦茂思传感技术有限公司
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