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本发明提出了一种底部可视化BGA工艺器件制作方法，包括：清洗玻璃基板；向当前玻璃基板喷涂光刻胶，并进行烘烤至光刻胶固化；将玻璃基板进行曝光后置于显影液中进行显影；将显影完成的玻璃基板置于离子束刻蚀机内，对没有光刻胶覆盖的区域进行刻蚀粗化处理；在刻蚀完成的玻璃基板溅射金属层；将沉积有金属层的玻璃基板进行电镀处理；去除玻璃基板表面的光刻胶；在焊盘金属层表面植放BGA器件焊球；沿当前器件外形尺寸将玻璃基板切割为单独的BGA工艺器件，对BGA工艺器件边缘打磨抛光。本发明利用刻蚀工艺提高了玻璃表面粗糙度，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116435192 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310205855.7 C23C 14/34 (2006.01)
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