悬浮膜的制备方法及悬浮膜.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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悬浮膜的制备方法及悬浮膜.pdf

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本发明提供了一种悬浮膜的制备方法及悬浮膜，所述方法包括光刻胶旋涂步骤：在干净平整的基底上旋涂光刻胶；铜网放置步骤：将透射电镜用铜网放置在光刻胶表面，静置一段时间；固化步骤：将铜网、光刻胶、基底放在热板上在一定温度下固化；薄膜溅射步骤：将固化后的铜网、光刻胶、基底表面溅射一定厚度的薄膜；悬浮膜获取步骤：将得到的薄膜、铜网、光刻胶、基底放在光刻胶去胶液中，溶解光刻胶，获得悬浮膜。本发明解决现有方法工艺复杂、随机性强等问题，获得厚度可控的悬浮膜。采用将铜网作为支撑结构结合光刻胶的去除，解决了现有技术中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116425108 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310425298.X (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人上海交大平湖智能光电研究院地址