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接合装置及接合方法.pdfVIP

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  • 2023-07-15 发布于四川
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接合装置及接合方法.pdf

    接合装置(100)包括：接合头部(20)，能够移动，保持顶部相机(24)、及与顶部相机(24)隔开偏移距离而配置的接合工具(22)；底部相机(28)，能够拍摄接合头部(20)；参考构件(30)，具有参考标记，固定于相对于底部相机(28)隔开规定的距离的位置；以及算出部(61)，在以将参考标记配置于顶部相机(24)的视野内，且将由接合工具(22)保持的芯片(72)配置于底部相机(28)的视野内的方式使接合头部(20)移动时，基于规定的距离、由顶部相机(24)检测到的参考标记的位置、及由底部相机(2

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116438635 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202180071439.1 (51)Int.Cl .

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