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本实用新型公开了一种可实现自动蒸镀的有机蒸发源装置,包括装置主体,所述装置主体内部底侧固定焊接安装有加热结构,所述加热结构上方固定焊接安装有镀膜结构,所述装置主体包括加厚外壳、固盖半环和密封盖,所述加热结构包括蒸发锅、有机膜料、规范滤网、密封环板、冷却管、加热电阻和通电电线,所述镀膜结构包括慢速电机、中空轴承、活动挡板、密封转轴、真空吸盘和工作区,所述冷却管从进管处进入加厚外壳内部,且从出管处通往外界。本实用新型所述的一种可实现自动蒸镀的有机蒸发源装置,能够实现自动蒸镀,且膜料更加细腻,镀层更加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214193434 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202120019197.9
(22)申请日 2021.01.06
(73)专利权人 沈阳科诚真空技术有限公司
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