裂解三氟化氮生产高纯氟气的方法及其裂解反应器.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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裂解三氟化氮生产高纯氟气的方法及其裂解反应器.pdf

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本发明属于氟气的生产与提纯的技术领域，具体涉及裂解三氟化氮生产高纯氟气的方法及其裂解反应器。所述的裂解三氟化氮生产高纯氟气的方法，包括以下步骤：将NF3通入干燥塔，干燥后的NF3气体进入裂解反应器，反应后的裂解气体，通入冷凝套管冷却降温，通过气体缓冲罐，然后经过1#压缩机压缩，进入1#冷却器降温；热裂解后的气体进入精馏阶段，经过1#精馏塔脱重，塔釜的重组分去干燥塔，塔顶的组分经过2#冷却器冷却，继续进入2#精馏塔脱N2，塔顶的N2排空，塔底的氟气经过2#压缩机压缩后充装到钢瓶内。本发明提供的裂解

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116425118 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310365665.1 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人南大光电（淄博）有限公司地址