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基板处理系统，其具备：紫外线照射部，其用于对保护基板的保护带照射紫外线；安装部，其借助粘着带将所述基板安装于框架，该粘着带以所述基板为基准设于与紫外线照射后的所述保护带相反的一侧；以及剥离部，其自借助所述粘着带安装于所述框架的所述基板剥离所述保护带，所述紫外线照射部在所述安装部的铅垂方向上方与所述安装部重叠地设置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116435236 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310366231.3 H01L 21/683 (2006.01)
(22)申请日 2018.08
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