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本发明提供一种变曲率复杂曲面零件自适应多场辅助化学机械抛光装置及抛光方法。本发明包括机架、壳体、抛光带驱动模块、气动装夹吸盘模块、集液模块、超声施载模块、雾化喷液模块、紫外光照射模块、电控模块及控制面板。本发明基于化学机械抛光原理，通过超声振动提高化学机械抛光液中磨料的机械去除效率，并通过紫外光催化化学机械抛光液，使其中产生氧化活性自由基以提高抛光液与工件之间的化学腐蚀速率，实现零件的高效低损伤超精密抛光。本发明所述装备通过调节合适参数可以实现变曲率复杂曲面零件的高效低损伤化学机械抛光，且加工过
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116423351 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310367014.6 B24B 51/00 (2006.01)
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