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本实用新型提供了一种用于生长碳化硅粉料的装置，所述装置包括坩埚，所述坩埚内用于放置硅原料和碳原料，所述坩埚设置出气孔；筒体，所述筒体与坩埚连接，所述筒体具有两端开口的中空腔体，所述腔体的一端与所述出气孔连通，另一端与外界连通；所述腔体内部交错设置有多个挡板，所述多个挡板与腔体内壁之间形成S形气体通道。通过设置筒体，筒体的中空腔体内部交错设置有多个挡板，多个挡板与腔体内壁之间形成S形气体通道；在生长碳化硅的过程中，硅气氛挥发，且沿着S形气体通道流动，在流过S形气体通道的过程中逐渐冷却凝结，有效减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214193517 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202023124200.8
(22)申请日 2020.12.21
(73)专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司
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