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本实用新型涉及一种喷淋冷却组件及气体喷淋装置。喷淋冷却组件包括喷淋板，喷淋板包括中心区以及由内向外依次包围中心区的若干个闭合冷却区，若干个闭合冷却区至中心区的距离不断增大且互不重叠；每一个闭合冷却区内设有至少一组冷却通道，冷却通道分布在闭合冷却区的周向上并且将中心区包围；冷却通道包括至少一个输送通道，输送通道与闭合冷却区的闭合路径平行；冷却通道具有导入口和导出口，输送通道的两端分别与导入口和导出口连通；每个冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应；中心区、若干个闭合冷却区的输送通道之间均匀分布
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219342281 U
(45)授权公告日 2023.07.14
(21)申请号 202223377535.X
(22)申请日 2022.12.15
(73)专利权人 上海星原驰半导体有限公司
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