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本发明涉及一种低功耗高灵敏度微结构气体传感器系统及制造方法，传感器系统包括用于沉积敏感材料的基底、用于检测电学变化的检测电极以及用于提供支撑的绝缘层，敏感材料沉积至基底以在基底上定义至少两个沉积区域，其中，沉积至检测电极与绝缘层的部分形成牺牲区域以降低多组分气体检测中的干扰，牺牲区域和检测区域基于至少包括温度和反应位点数目的不同吸附能力参数差异以对其相应气体进行选择性吸附；系统的制造方法，包括以下步骤：形成基片，基片配置有用于检测的检测电极、沉积敏感材料的基底和用于支撑的绝缘层，在基片上形成感测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116429859 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310374889.9 B81B 7/00 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.1
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