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本发明提供了一种托盘循环式上下料设备,包括装在机架上的托盘载台、单托盘抱取机构、托盘循环机构、机械臂组件、读ID机构、上料流道以及下料流道;两个托盘载台分别设置在上料工位和下料工位处,能够做升降运动,用于转移载有基板的托盘;单托盘抱取机构用于抱取并运输托盘;托盘循环机构能够在上料工位与下料工位之间移动,用于储存并转移托盘;机械臂组件能够吸附并转移基板;读ID机构:位于机械臂组件的转移区域内,用于读取基板的信息。本发明通过采用机械臂组件与多个机构协作的方式,实现堆叠托盘内基板的上下料,通过空托盘在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116424804 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310383426.9 B65G 47/91 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.
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