惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置.pdf

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本申请提供惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置，其腔体内的传感器不易受到污染。惯性传感器(1)包括基体(2)、与基体(2)相对的盖体(3)、配置于基体(2)与盖体(3)之间的腔体(S)并包括半导体层(23)的功能元件(4)、配置于包围腔体(S)的周边区域(P)并将基体(2)与盖体(3)粘接的粘接层(6)、将连通腔体(S)与外部并配置于周边区域(P)的孔(7)密封的密封部(8)，密封部(8)设置为与盖体(3)和基体(2)相接，并包含盖体(3)的材料和粘接层(6)的材料。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116429077 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310028373.9 (22)申请日 2023.01.09 (30)优先权数据