一种等离子清洗设备.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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本发明公开了一种等离子清洗设备，其中，第一上下料机构与第二上下料机构分设于机架的相异两侧，其中一者或两者用于工件的上下料；第一转移机构用于将工件在第一上下料机构与第一中转机构之间转移；第二转移机构用于将工件在第二上下料机构与第二中转机构之间转移；移栽机构用于将工件在第一中转机构与清洗机构之间传输，和/或用于将工件在第二中转机构与清洗机构之间传输。第一转移机构与第二转移机构均包括吸嘴模组，每个吸嘴模组均包括吸嘴座与多个吸嘴，每个吸嘴均与对应的吸嘴座可拆卸地连接。该等离子清洗设备的整个清洗工艺中无需

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116422650 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310092788.2 (22)申请日 2023.02.10 (71)申请人昆山鸿义精微科技有限公司地址