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本实用新型涉及五轴调节技术领域,具体为一种紧凑型五轴位移台装置,包括底板、活动板和调节固定板,调节固定板正面的设置有第一Z轴调节螺杆、第二Z轴调节螺杆、X轴调节螺杆、第一Y轴调节螺杆和第二Y轴调节螺杆;本实用新型通过两个驱动器一起控制偏转和Y轴,两个驱动器一起控制俯仰和Z轴,单独的一个驱动器控制X平移。位移台顶部平台有多种安装孔,使得位移台能兼容许多光机械组件,能够在一个方向实现五轴的精密调节,在狭小的真空环境或者实验器材中间可以灵活使用。结构紧凑,适用性高,稳定性可靠,单方位实现五轴调节,调节
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214183206 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202023114419.X
(22)申请日 2020.12.22
(73)专利权人 武汉高科恒大光电股份有限公司
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