原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例公开了一种平面精度补偿方法及平面精度补偿系统。该方法包括：获取工作台面上激光加工工位的相对高度；根据所述相对高度确定所述工作台面的当前位置与初始位置之间的位置偏差；根据所述位置偏差对预设加工参数进行调整。本发明实施例所提供的技术方案，通过测算激光加工工位的相对高度，可以实时确定工作台面的位置偏差，从而可以根据该位置偏差对激光图形进行相应的修正，以补偿高度、平面度变化带来的影响，无需设置额外的冷却系统，即可解决因机械系统振动、升温以及其他条件变化导致精度下降、重复性变差的问题，有效的提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116423080 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310497866.7
(22)申请日 2023.05.05
(71)申请人 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公
文档评论（0）