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本实用新型公开了一种基础异质结太阳能电池及其制备工具。该基础异质结太阳能电池，包括硅片、形成于所述硅片上的本征非晶硅层、形成于所述本征非晶硅层上的掺杂非晶硅层、形成于所述掺杂非晶硅层上的透明导电氧化物薄膜及形成于所述透明导电氧化物薄膜上的金属电极，所述基础异质结太阳能电池具有隔离沟道，所述隔离沟道自所述硅片的表面依次贯穿所述本征非晶硅层、所述掺杂非晶硅层和所述透明导电氧化物薄膜，所述隔离沟道位于需要对硅片进行划片的位置处。本实用新型能够避免在划片分切时损伤非晶硅层和导电薄膜层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214203710 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202023213243.3
(22)申请日 2020.12.28
(73)专利权人 苏州腾晖光伏技术有限公司
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