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本实用新型揭露一种磁力传动装置，用于湿制程设备，其侧壁围设形成一容置空间，侧壁具有相对侧的外侧壁与内侧壁。第一磁体位于外侧壁，第二磁体位于内侧壁，且第一磁体与第二磁体的位置为相应配置。传动模组用以驱动第一磁体旋转，藉由第一磁体与第二磁体间的磁性相吸，以同步带动旋转第二磁体。侧壁总厚度小于第一磁体至第二磁体间的总距离长度，以确保第一磁体与第二磁体间的导磁率足够磁性相吸，使第一磁体可连动第二磁体同步运作。本实用新型利用磁力传动方式，可有效解决现有在侧壁开孔装设齿轮传动结构而导致药液外泄以及齿轮抖动的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214205370 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202120270838.8
(22)申请日 2021.01.29
(73)专利权人 亚智科技股份有限公司
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