一种可变间距的晶圆检测装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约8.03千字
约 7页
2023-07-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种可变间距的晶圆检测装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型提供的一种可变间距的晶圆检测装置，包括机械臂、连接板和末端执行器，所述末端执行器位于连接板的一端，所述连接板中与所述末端执行器相对的另一端包括对射传感器，所述连接板固定在所述机械臂的一端，且能够绕着所述机械臂的一端进行旋转；所述连接板上还包括主动轮、从动轮、驱动电机和滚珠丝杠，所述驱动电机输出端连接主动轮，所述主动轮通过传输带连接从动轮，所述从动轮连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠，所述对射传感器包括相对的发射端和接收端，所述发射端和接收端分别通过螺母固定连接在左

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214201803 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202120419188.9 (22)申请日 2021.02.25 (73)专利权人上海广川科技有限公司