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本申请涉及非制冷红外探测器领域，公开了一种非制冷红外探测器的微桥结构，包括：衬底；设于所述衬底上表面、相对设置的桥柱；设于所述桥柱之间且由所述桥柱支撑悬在所述衬底上方的膜系谐振腔，所述膜系谐振腔由多层层叠的薄膜组成；设于所述膜系谐振腔上表面的吸收层。本申请中微桥结构包括衬底、桥柱、膜系谐振腔和吸收层，膜系谐振腔是由多层薄膜组成的，并不是真空型腔体，在制作过程中可以调节膜系谐振腔中薄膜的厚度，进而调整膜系谐振腔的高度，使得谐振腔高度调节更加灵活、方便，并且，在膜系谐振腔之前已经制作完成的结构部分可
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219347976 U
(45)授权公告日 2023.07.14
(21)申请号 202320793344.7
(22)申请日 2023.04.06
(73)专利权人 安徽光智科技有限公司
地址 2
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