微机电系统第二章MEMS设计基础.pptVIP

第一页，共三十四页，2022年，8月28日 第二章MEMS设计基础 内容提要 硅晶体结构与微观力学 微尺度效应 MEMS中的材料应用及进展 MEMS设计的基本问题 MEMS设计的具体方法 第二页，共三十四页，2022年，8月28日 提问 MEMS的分类和特点？ MEMS的典型产品有哪些？分别应用在哪些领域？ MEMS的设计涉及那些学科？ 可以用作MEMS中的材料有哪些？ 第三页，共三十四页，2022年，8月28日 四、 MEMS设计的基本问题 MEMS设计的目的分为三类： (1)作为技术探索而设计的组件或系统：一般是为了验证研究者的某种设计思想，测试某种制作工艺的合理性与局限性，因此，只需制作少量的试样就够了。 (2)作为仪器研发而设计的组件或系统：设计的设备将用于完成某种科研活动或某种高度专业化的任务，对这种目的的设计，必须注意仪器、设备的准确性，而对产品需求的数量可视具体情况而定。 (3)作为商业产品而设计的组件或系统：设计的产品将用于商业化的生产和销售，其需求的数量及产品的准确性和精密度，可按市场的要求而定。 阶段：概念设计、基本设计、详细设计以及CAD和仿真等 第四页，共三十四页，2022年，8月28日 3）多能量域耦合 要求知识学科跨度大 建模、分析难度大 计算量大 特点： 目的：设计阶段比较方案，检验掩模/工艺可行性 1、MEMS的CAD 1）微小结构尺寸 尺度效应