原创力文档- 2
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- 2023-07-17 发布于四川
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本实用新型提供了一种热解氮化硼沉积炉，所述热解氮化硼沉积炉包括炉体、设置在炉体顶端的上炉盖、设置在炉体底端的下炉盖、设置在下炉盖上的进气口和设置在炉体上的出气口，所述进气口和出气口均连通炉体内和炉体外，所述炉体、上炉盖和下炉盖围设成炉腔，所述炉腔内由内而外依次设置有模具、加热器、保温层和水冷层，所述水冷层内设置有水冷管道，所述水冷管道环绕设置在所述保温层上，所述下炉盖上设置有进水口和出水口，所述进水口和出水口分别与水冷管道的两端相连通，所述加热器围绕模具呈圆周设置。通过保温层、水冷层和加热器的相
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214218853 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202022774136.1
(22)申请日 2020.11.25
(73)专利权人 上
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