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本实用新型公开了一种半导体加工用纯化水制备装置，包括纯化水制备系统，所述纯化水制备系统由预处理模块、主助力模块和后处理模块组成。本实用新型通过使用原水泵将把原水输送到预处理模块中的砂滤器内部，通过砂滤器内部的石英砂过滤层除去水中的悬浮状态的颗粒物质，通过活性炭过滤层起吸附作用，经过软化器后在通过高压泵将水源送入至主助力模块的内部，预处理后的水源，依次通过主助力模块中的保安过滤器、RO壳体、RO元件、EDI装置、混床和纯化水箱进行处理，主助力模块处理后的水源进入至后处理模块中，在通过纯化水泵将水源
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214218456 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202023323075.3
(22)申请日 2020.12.31
(73)专利权人 江苏安瑞森电子材料有限公司
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