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一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置.pdfVIP

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  • 2023-07-18 发布于四川
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一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置.pdf

    本实用新型公开了一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置，具体涉及三氟化氮生产设备技术领域，包括底板，所述底板顶部通过螺栓固定安装有提纯罐，所述提纯罐内壁底部填充有水体，所述提纯罐内壁顶部固定套有进气管与出气管；本实用新型的管道采用外管和内管的双层管方式，可有效提高管道对三氟化氮气体的密封性，且当内管产生泄露后，三氟化氮气体会通过气孔进入到检测管内，并由单向阀进行单向排出，气体报警器检测到排出的三氟化氮气体会进行报警，并对控制中心进行示警，控制中心内控制器可及时对第二电磁阀进行开启，使检测管内闭合，从

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214210463 U (45)授权公告日 2021.09.17 (21)申请号 202120034796.8 (22)申请日 2021.01.07 (73)专利权人 江苏安瑞森电子材料有限公司

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