1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种硅烷纯化用多级过滤装置.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约8.32千字
  • 约 11页
  • 2023-07-18 发布于四川
  • 举报

一种硅烷纯化用多级过滤装置.pdf

    本实用新型公开了一种硅烷纯化用多级过滤装置，具体涉及硅烷纯化技术领域，包括纯化壳体，纯化壳体顶端固定连接有盖板，且盖板上插接有出料管，纯化壳体左侧插接有进料管，且纯化壳体上缠绕有低温导热管，纯化壳体外侧面套接有隔热套，低温导热管设置在纯化壳体与隔热套之间，盖板下侧面设置有隔板，隔板伸入纯化壳体内部，且隔板与纯化壳体之间设置有活性碳吸附板，活性碳吸附板设置在滤网框内部，且滤网框下侧面固定连接有套筒，套筒套接在支杆上。本实用新型实现了对硅烷进行多重过滤以及吸附纯化，也便于对纯化温度进行控制，提高了纯

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214209979 U (45)授权公告日 2021.09.17 (21)申请号 202120034800.0 (22)申请日 2021.01.07 (73)专利权人 江苏安瑞森电子材料有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >