一种半导体器件边角打磨辅助设备.pdfVIP

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  • 2023-07-18 发布于四川
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本实用新型涉及半导体器件加工辅助设备的技术领域,具体为一种半导体器件边角打磨辅助设备,其能提高对打磨产生的粉尘的输送效果,同时可根据半导体晶圆的尺寸对支座高度进行相对调整,提高支撑效果和适应能力,且减小半导体晶圆与支座间的摩擦力,提高其转动效果和打磨效果,增强使用可靠性;包括底座、支架、电动缸、安装座、打磨块、固定机构、旋转机构、处理箱、排风扇、支座和输送管,输送管输入端上固定有输送头;还包括四组减震座、分流管、两组螺纹管、两组螺纹杆、两组下滚珠轴承和两组支撑板,支座包括两组支块、两组上滚珠轴承

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214213258 U (45)授权公告日 2021.09.17 (21)申请号 202120055054.3 (22)申请日 2021.01.08 (73)专利权人 致胜精工机电(天津)有限公司

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