原创力文档- 12
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- 2023-07-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种266纳米高功率激光增透膜，一种266纳米高功率激光增透膜，膜层结构为：A/cL/bH/aL/SUB/aL/bH/cL/A，其中，SUB代表玻璃基底；A代表空气；H代表高折射率膜层；L代表低折射率膜层；a﹑b﹑c分别为各膜层的四分之一参考波长光学厚度的系数，a为1.6±0.2，b为0.53±0.2，c为1.13±0.2。本实用新型266纳米高功率激光增透膜，在紫外波段具有高抗激光损伤阈值，该增透膜在266nm波段处透过率可达99.9％以上，既有良好的光谱性能又有较好的机械稳性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214225468 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202120292990.6
(22)申请日 2021.02.02
(73)专利权人 南京波长光电科技股份有限公司
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