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本实用新型涉及机械技术领域。半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具，包括一支撑架，支撑架包括一支撑面板，支撑面板的上表面用于支撑待浸泡工件，支撑面板呈圆环形；支撑架还包括至少三个周向排布的支撑脚，支撑脚固定在支撑面板的外边缘，支撑脚的顶部设有向上延伸的突起，突起高于支撑面板的上表面；支撑脚的底部开设有用于嵌入突起的插槽。本专利通过优化洗净浸泡治具，便于实现铝部件的浸泡，相对于传统的平铺浸泡大大增加了单次的洗净工件数。加快了生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214263143 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202022862827.7
(22)申请日 2020.12.03
(73)专利权人 上海富乐德智能科技发展有限公
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