兼容型硅片分选设备.pdfVIP

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2023-07-19 发布于四川
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兼容型硅片分选设备.pdf

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本发明涉及一种兼容型硅片分选设备，包括硅片上料装置、硅片输送装置及硅片检测装置；硅片上料装置向硅片输送装置提供待分选的硅片；硅片输送装置包括至少两个输送机构，每个输送机构包括至少四条输送带，至少四条输送带之间形成第一支撑间距的一组输送带支撑输送整片硅片、两组形成第二支撑间距的输送带分别支撑输送并行的半片硅片和/或整片硅片；硅片检测装置沿着硅片输送装置的输送方向设置，对硅片输送装置上输送的硅片进行检测。通过配置四条输送带及输送带间距调节机构，使硅片输送装置可兼容输送整片硅片、并行的半片硅片和/或整

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116441179 A (43)申请公布日 2023.07.18 (21)申请号 202310015444.1 B07C 5/02 (2006.01)