原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种钽掺杂二氧化铪铁电薄膜、其制备方法及应用，将Ta金属靶材与HfO2陶瓷靶材，利用多靶材共磁控溅射设备，通过控制溅射功率，获得具有不同Ta掺杂比例的Ta:HfO2薄膜。另外，通过调节溅射功率与工作气体Ar:O2比例，Ta:HfO2薄膜的剩余极化强度Pr可以达到100μC/cm2，相比文献中报道的数据提高了4‑10倍。将其用于仿生物突触器件中，通过控制功能层生长过程中的氧流量、调节突触测试中电脉冲宽度、改变外接串联电阻的阻值实现了突触器件长时程增强与抑制的转变调控。本发明拓宽了仿生突
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116445870 A
(43)申请公布日 2023.07.18
(21)申请号 202310232577.4
(22)申请日 2023.03.13
(71)申请人 河南大学
地址 475001
文档评论（0）