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本发明公开了一种微小材料分析方法及其使用的多频段声表面波传感器。该微小材料分析方法包括以下步骤:一、将被测材料放置在容纳腔中。二、向其中一个叉指电极中施加调制信号。调制信号通过n个频率不同的正弦波信号叠加得到;采集另一个叉指电极的接收信号。分别提取出调制信号与接收信号之间的n个不同频率正弦波信号的相位差。三、将步骤二得到的n个相位差分别代入不同频率对应的相位差‑杨氏模量关系曲线,得到n个杨氏模量估计值。根据n个杨氏模量估计值,判断被测材料的抗变形能力。本发明将表面波传感器引入微小材料的杨氏模量测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116448875 A
(43)申请公布日 2023.07.18
(21)申请号 202310235671.5
(22)申请日 2023.03.13
(71)申请人 杭州电子科技大学
地址 3100
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