一种晶圆清洗箱.pdfVIP

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2023-07-20 发布于四川
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本公开提供了一种晶圆清洗箱，包括：晶圆固定机构、晶圆清洗机构、晶圆检测机构与水雾去除机构，晶圆固定机构用于固定晶圆；晶圆清洗机构用于对被固定的晶圆进行清洗；晶圆检测机构用于检测所述晶圆固定机构有无固定晶圆，包括信号检测光纤，所述信号检测光纤通过支撑架固定；水雾去除机构对准所述信号检测光纤的检测端设置，用于去除所述信号检测光纤检测端的水雾。本公开的晶圆清洗箱，在完成对每片晶圆的清洗过程后，可以通过水雾去除机构及时去除信号检测光纤检测端的水雾，消除水雾对晶圆检测机构检测准确度的影响，从而保证整个晶圆

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219370974 U (45)授权公告日 2023.07.18 (21)申请号 202223613444.1 (22)申请日 2022.12.31 (73)专利权人杭州富芯半导体有限公司地址