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本实用新型涉及的一种氢气杂质痕量的SERS检测仪包括：输入光路，输入光路包括半导体激光器，半导体激光器的输出光路设置准直透镜和滤光镜，滤光镜后的光路上设置柱面透镜，柱面透镜与其焦点之间设置反射镜；氢敏SERS传感芯片贴合输入光路设置，且氢敏SERS传感芯片内设置吸附氢气且增强拉曼散射的复合衬底，复合衬底设置于反射镜的反射光路上，氢敏SERS传感芯片的出光口设置瑞利散射滤光镜；氢敏SERS传感芯片的另一侧贴合设置输出光路，输出光路包括分光光栅，分光光栅将出射光反射向CCD成像模块；CCD成像模块将
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219369573 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202223567157.1
(22)申请日 2022.12.21
(73)专利权人 山东氢谷新能源技术研究院
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