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本实用新型涉及分料筛选技术领域，具体为一种用于高精度硅片真空镀膜设备的分料筛选装置，包括安装在输送拉带两侧的支撑柱，所述输送拉带的内侧设置有驱动电机，所述驱动电机的驱动端表面设置有输送带，所述输送带的表面开设有放置槽，所述输送拉带的上方设置有两个安装架。该用于高精度硅片真空镀膜设备的分料筛选装置，通过视觉检测相机和补光灯的设置，来对硅片进行高精度的检测，再由平移驱动机构、升降气缸和分拣吸嘴配合使用，对有问题的硅片进行自动真空吸附转移到收纳框架内，真空吸附不会损伤到硅片，避免了人工拿取时损伤硅片的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219356993 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320424638.2
(22)申请日 2023.03.08
(73)专利权人 深圳天成真空技术有限公司
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