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本实用新型公开了一种真空自动化搬送装置及镀膜设备，属于镀膜设备技术领域。本实用新型包括真空自动化搬送装置以及具备该装置的镀膜设备，真空自动化搬送装置包括装卸站、进出片室、搬送室、真空机械手以及阀门，装卸站与进出片室的数量为两个，阀门安装在装卸站与进出片室、进出片室与搬送室之间，进出片室与搬送室接驳，真空机械手安装在搬送室用于转移搬送室与制程室内的基片架，进出片室与搬送室内均设有监测系统、搬运系统以及真空系统。本申请采用左右轮换式模式，摒弃了现有模式的缺点并综合了这两者的优点，既提高了生产效率并且
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219363791 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320746845.X
(22)申请日 2023.04.07
(73)专利权人 深圳奥卓真空设备技术有限公司
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