一种用于硅料的清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于硅料的清洗装置,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本实用新型通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214262964 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202023292149.1 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人 江苏亚电科技有限公司

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