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一种用于晶圆的生产检测设备.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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一种用于晶圆的生产检测设备.pdf

    本实用新型提供一种用于晶圆的生产检测设备，包括：设备支撑架，所述设备支撑架中部设有检测输送设备，所述设备支撑架下端设有若干安装固定座，所述安装固定座上设有设备支撑腿，所述检测输送设备一侧的设备支撑架上设有光学检测装置、X射线检测装置，所述检测输送设备包括输送支撑架，所述输送支撑架上设有输送传送带，所述输送支撑架外侧设有若干支撑架固定杆，所述支撑架固定杆固定安装在设备支撑架上，所述输送传送带外侧设有若干晶圆载台，所述晶圆载台两端通过固定螺栓安装在输送传送带上，本实用新型不仅可以实现晶圆检测的快速输

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279913 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202023311321.3 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人 天健九方（西安）毫米波设计研究

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