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转印滚轮蚀刻制造设备及滚轮蚀刻装置.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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转印滚轮蚀刻制造设备及滚轮蚀刻装置.pdf

    本实用新型公开一种转印滚轮蚀刻制造设备及滚轮蚀刻装置。其中滚轮蚀刻装置包括：一旋转模块，用以将一金属滚筒设置于一中心轴线上，且能够驱动金属滚筒旋转；以及一蚀刻液喷射模块，具有至少一喷嘴，用以将蚀刻液喷射于金属滚筒和光阻层上，而能够对所述金属滚筒的外表面蚀刻，而于金属滚筒的外表面形成多个转印微结构；其中，滚轮蚀刻装置规划为在蚀刻液喷射模块喷射蚀刻液的同时，通过旋转模块带动金属滚筒和蚀刻液喷射模块的喷嘴相对旋转，而使得蚀刻液均匀喷射于金属滚筒和光阻层的表面上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214271055 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120131835.6 (22)申请日 2021.01.18 (73)专利权人 光群雷射科技股份有限公司

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