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衬底载运器.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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衬底载运器.pdf

    本发明公开一种衬底容器(100)，其包含基底(105)及盖(115)。盖(115)配合基底(105)以界定封闭空间。互锁托架(405)的堆叠可安置于基底(105)内。每一互锁托架(405)包含嵌入凸缘(410)，其界定用于支撑衬底的配准面(420)。互锁托架(405)还包含凸肩部分(415)。离隙特征(435)界定于凸肩部分(415)与配准面(420)之间的接合点。离隙特征(435)可防止衬底的尖锐边缘接触凸肩部分(415)，借此减少颗粒产生。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108780769 A (43)申请公布日 2018.11.09 (21)申请号 20178

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